[实用新型] 用于光学相干间距测量系统的调焦装置 – CN215986669U 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202121326356.6
申请日
20210615
公开(公告)号
CN215986669U
公开(公告)日
20220308
申请(专利权)人
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
申请人地址
215163 江苏省苏州市高新区科技城科灵路88号
发明人
邢利娜;高峰;何益;陈一巍;张欣;史国华;包明帝 专利类型 实用新型
摘要
本实用新型公开了一种用于光学相干间距测量系统的调焦装置,包括第一反射镜、分光元件、第一聚焦透镜、第一针孔、第一探测器、第二聚焦透镜、第二针孔以及第二探测器;所述光学相干间距测量系统包括扫频光源、第一耦合器、第一环形器、参考臂、第二环形器、第二耦合器、平衡探测器以及样品臂,所述样品臂包括样品光准直器以及所述调焦透镜。本实用新型针对光学相干间距测量系统提供了一种可靠的调焦装置,本实用新型将光学相干间距测量系统中不能进入样品准直器的光能利用起来进行系统自身的调焦,通过第一探测器和第二探测器的探测信号的比较能够实现快速调焦,操作简便,且提高了光学相干间距测量系统能量的利用率。
主权项
1.一种用于光学相干间距测量系统的调焦装置,其特征在于,包括第一反射镜、分光元件、第一聚焦透镜、第一针孔、第一探测器、第二聚焦透镜、第二针孔以及第二探测器;该调焦装置用于对光学相干间距测量系统中的调焦透镜进行调焦,该光学相干间距测量系统出射的光经所述第一反射镜后由所述调焦透镜聚焦至待测样品上,待测样品的反射光由所述调焦透镜收集后,其中,处于光束的中间部分的反射光被所述第一反射镜反射后返回所述光学相干间距测量系统中,其余的处于光束外周部分的反射光从所述第一反射镜的外周通过并进入所述分光元件,然后被分为两部分:第一部分光经过所述第一聚焦透镜后到达所述第一针孔,透过所述第一针孔的光被所述第一探测器接收;第二部分光经过所述第二聚焦透镜后到达所述第二针孔,透过所述第二针孔的光被所述第二探测器接收;其中,所述第一针孔位于所述第一聚焦透镜出射的第一部分光的焦点位置的前端,所述第二针孔位于所述第二聚焦透镜出射的第二部分光的焦点位置的后端,且所述第一针孔和第二针孔的离焦距离相等。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G02B7/04
G 物理

G02 光学

G02B 光学元件、系统或仪器

G02B7/04 有聚焦或改变放大率的机构〔2〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220308
法律状态
授权 法律状态信息
CN202121326356 20220308 授权 授权

 

 
代理信息
代理机构名称
北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369
代理人姓名
贺杰