[实用新型] 基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统 – CN215865745U 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202121963172.0
申请日
20210819
公开(公告)号
CN215865745U
公开(公告)日
20220218
申请(专利权)人
中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司
申请人地址
230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
发明人
董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 专利类型 实用新型
摘要
本实用新型公开了一种基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统,包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元;采集单元的输出端连接处理单元的输入端,处理单元的输出端连接存储单元,控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接;所述成像单元包括依次设置的光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜、分光镜、吸收体和透镜阵列,用于产生均匀照明的平行偏振光经薄膜上下表面反射后,通过透镜阵列形成干涉条纹在线阵相机干涉成像;所述采集单元包括载物台、线阵相机,线阵相机位于透镜阵列的焦点处,接收经透镜阵列透射出的光线进行干涉成像。本实用新型能够实现一定厚度的透明薄膜的上下表面及内部均匀性检测。
主权项
1.一种基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统,其特征在于,包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元;采集单元的输出端连接处理单元的输入端,处理单元的输出端连接存储单元,控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接;所述成像单元包括依次设置的光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜、分光镜、吸收体和透镜阵列,所述光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜和分光镜的中心均位于同一轴线上,匀光镜位于聚光透镜焦点上,用于产生均匀照明的平行偏振光经薄膜上下表面反射后,通过透镜阵列形成干涉条纹在线阵相机干涉成像;所述采集单元包括载物台、线阵相机,线阵相机位于透镜阵列的焦点处,接收经透镜阵列透射出的光线进行干涉成像。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01M11/02
G 物理

G01 测量;测试

G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试;未列入其他类目的结构部件或设备的测试

G01M11/02 光学性质的测试

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220218
法律状态
授权 法律状态信息
CN202121963172 20220218 授权 授权

 

 
代理信息
代理机构名称
合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125
代理人姓名
李璐