[实用新型] 一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备 – CN215856326U 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202121483172.0 |
申请日
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20210630 |
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公开（公告）号
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CN215856326U |
公开（公告）日
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20220218 |
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申请（专利权）人
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中国科学院西安光学精密机械研究所 | ||
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申请人地址
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710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
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发明人
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李林森;刘哲;盛立志;强鹏飞;周晓红;赵宝升 | 专利类型 | 实用新型 |
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摘要
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本实用新型涉及半导体薄膜的制备装置，具体涉及一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备，用于解决目前使用热分解法制备氧化锡导电薄膜过程繁琐、效率低，且影响成膜质量的不足之处。该用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备，包括加热炉、旋转电机、炉膛温度控制系统和溶液雾化器。本实用新型利用热分解法制备氧化锡导电薄膜，整个流程均可实现自动化，薄膜厚度由气雾出射量与气雾喷涂时间确定，并由薄膜电阻值表征，根据经验确定气雾出射量、气雾喷涂时间与薄膜厚度的对应关系，可以实现氧化锡导电薄膜的批量化生产。 | ||
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主权项
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1.一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备，其特征在于：包括加热炉(1)、旋转电机(2)、炉膛温度控制系统和溶液雾化器(3)；所述加热炉(1)的一端通过旋转轴(4)与旋转电机(2)相连，另一端设有炉盖(11)，加热炉(1)侧壁沿径向设有两个对称的开孔(12)；所述炉膛温度控制系统包括位于加热炉(1)内部的炉膛温度监测传感器，以及位于加热炉(1)外部的炉膛温度显示屏和炉膛温度控制装置，所述炉膛温度监测传感器通过信号线与炉膛温度控制装置相连，炉膛温度控制装置上设置有炉膛温度显示屏；所述溶液雾化器(3)位于加热炉(1)下方，溶液雾化器的出雾口(31)对应加热炉(1)侧壁的两个开孔(12)，两个开孔(12)内均设有固定在加热炉(1)侧壁的可拆卸的气雾导向管(13)；所述加热炉(1)薄膜衬底的炉膛内设置有填充物(5)，该填充物(5)设置在加热炉(1)的炉膛内壁与薄膜衬底外壁之间。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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C23C18/12 | ||
| C 化学；冶金
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆 C23C18/12 以沉积金属材料以外之无机材料为特征的〔4〕 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220218 |
法律状态
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授权 | 法律状态信息 |
CN202121483172 20220218 授权 授权
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代理信息
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代理机构名称
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西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人姓名
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史晓丽 |