[发明专利] 超精密位置探测光电信号数据拟合方法及其装置 – CN114061451A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111302953.X
申请日
20211104
公开(公告)号
CN114061451A
公开(公告)日
20220218
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
李璟;丁敏侠;马会娟;杨光华;周成龙 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种超精密位置探测光电信号数据拟合方法及其装置,方法包括如下步骤:根据采样点数构建傅里叶矩阵;根据光信号的衍射级次筛选所述傅里叶矩阵对应的行向量,构建M行N列傅里叶子矩阵T;将所述傅里叶子矩阵T左乘光电信号采样点列向量B,进而得到各衍射级次拟合数学模型的系数;将所述拟合数学模型的系数代入拟合数学模型中完成对准位置解算。对于某一个衍射级次的光电信号,该方法和装置可使数据拟合的算法复杂度从降低到了2N‑1,使算法复杂度相对于采样点数从指数幂变为线性关系,从而在无需降低信号采样速率的情况下,即可显著降低数据拟合算法的复杂度,也为通过提高采样速率来进一步提高探测位置精准度提供了便利条件。
主权项
1.一种超精密位置探测光电信号数据拟合方法,其特征在于,包括如下步骤:根据采样点数构建傅里叶矩阵;根据光信号的衍射级次筛选所述傅里叶矩阵对应的行向量,构建m行n列傅里叶子矩阵T;将所述傅里叶子矩阵T左乘光电信号采样点列向量B,进而得到各衍射级次拟合数学模型的系数;将所述拟合数学模型的系数代入拟合数学模型中完成对准位置解算。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01B11/00
G 物理

G01 测量;测试

G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备(G01B9/00组中包括的各式仪器本身入G01B9/00)〔2〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220218
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111302953 20220218 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
王文思