[发明专利] 空间光束偏移校正装置及方法 – CN114114582A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111411628.7
申请日
20211123
公开(公告)号
CN114114582A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
崔成君;王国名;董登峰;张滋黎;周维虎;王宇;潘映伶;孟繁昌;冯天赐 专利类型 发明专利
摘要
本公开涉及一种空间光束偏移校正装置和方法,包括:沿光束传播方向依次设置的双光楔安装筒和双斜平板安装筒,双光楔安装筒和双斜平板安装筒的中心轴线与理想光轴重合;第一光楔和第二光楔,分别安装于双光楔安装筒内并可绕理想光轴旋转,入射光束依次经第一光楔和第二光楔调节后的调整光束平行于理想光轴;第一斜平板和第二斜平板,分别安装于双斜平板安装筒内并可绕理想光轴旋转,调整光束依次经第一斜平板和第二斜平板调节后的出射光束重合于理想光轴。本公开采用相对旋转的双光楔和双斜平板分别校正了光束的二维角度与二维平移量,且校正过程中,两者互不影响,有效提高了仪器光学系统装调效率,同时结构简单、操作方便、分辨率高、稳定性好。
主权项
1.一种空间光束偏移校正装置,包括:沿光束传播方向依次设置的双光楔安装筒(504)和双斜平板安装筒(511),所述双光楔安装筒(504)和所述双斜平板安装筒(511)的中心轴线与理想光轴(514)重合;第一光楔(502)和第二光楔(506),分别安装于所述双光楔安装筒(504)内并可绕理想光轴(514)进行旋转,入射光束(11)依次经所述第一光楔(502)和所述第二光楔(506)调节后形成平行于所述理想光轴(514)的调整光束(11′);以及第一斜平板(509)和第二斜平板(513),分别安装于所述双斜平板安装筒(511)内并可绕理想光轴进行旋转,所述调整光束(11′)依次经所述第一斜平板(509)和所述第二斜平板(513)调节后形成重合于所述理想光轴(514)的出射光束(12)。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G02B7/00
G 物理

G02 光学

G02B 光学元件、系统或仪器

G02B7/00 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111411628 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
樊晓