[发明专利] 用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法 – CN114252023A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111622488.8
申请日
20211228
公开(公告)号
CN114252023A
公开(公告)日
20220329
申请(专利权)人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
发明人
张帅;侯溪;严伟;胡小川;陈强 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法,相移干涉仪安装在大理石横梁上;计算全息图通过全息调整架与相移干涉仪固定,通过全息调整架调整计算全息图;由检测工装、轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在与大理石基座相连的升降装置上,通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测非球面元件的空间姿态;计算机系统与相移干涉仪相连,采集待测非球面的面形信息;通过分析采集的面形信息获得待测非球面所需调整量,根据自准直仪检测数据控制位置调整台定量调整非球面,实现检测光路的准确调整。本发明为非球面计算全息检测提供了一种有效的调整手段,具有较大的应用价值。
主权项
1.一种用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置,其特征在于:包括大理石基座(1)、相移干涉仪(2)、计算全息图(3)、全息调整架(301)、轴向位移台(4)、倾斜调整台(401)、升降装置(5),待测非球面镜(6),检测工装(7)、第一标准反射镜(701)、第二标准反射镜(702)、工装组件(703)、第一自准直仪(8)、计算机系统(9)和第二自准直仪(10);其中:所述相移干涉仪(2)与所述大理石基座(1)龙门相连,用于采集待测表面的面形数据;所述计算全息图(3)通过所述全息调整架(301)与所述升降装置(5)相连,用于产生测试波前;所述全息调整架(301)可通过所述升降装置(5)的升降导轨调整与所述相移干涉仪(2)镜头距离,并可用于调整所述计算全息图(3)倾斜量,用来产生所需级次衍射光,实现其正入射到所述待测非球面镜(6)上;所述待测非球面镜(6)通过所述检测工装(7)夹持在所述倾斜调整台(401),正对与所述相移干涉仪(2)相连的所述计算全息图(3);所述倾斜调整台(401)用于调整所述待测非球面镜(6)倾斜,实现检测光路倾斜分量调整;所述检测工装(7)由第一标准反射镜(701)、第二标准反射镜(702)和所述工装组件(703)组成,所述第一标准反射镜(701)、第二标准反射镜(702)和所述工装组件(703)可以同时向所述倾斜调整台(401)中心方向运动,用于夹持所述待测非球面镜(6)并使其中心与所述倾斜调整台(401)中心重合;所述倾斜调整台(401)作为测量基座安装在所述轴向位移台(4)上,用于带动所述待测非球面镜(6)在长度、宽度方向平移移动;所述轴向位移台(4)固定在所述升降装置(5)上,并与所述相移干涉仪(2)光轴垂直;用于带动所述轴向位移台(4)进行轴向位移,调整所述待测非球面镜(6)与所述计算全息图(3)轴向相对位置;所述第一自准直仪(8)正对所述第二标准反射镜(702),用于采集所述待测非球面镜(6)在调整过程中所述第二标准反射镜(702)的角度变化,用来表示所述待测非球面镜(6)的沿该第二标准反射镜(702)中心到所述待测非球面镜(6)中心方向的角度情况;所述第二自准直仪(10)正对所述第一标准反射镜(701),用于采集所述待测非球面镜(6)在调整过程中所述第一标准反射镜(701)的角度变化,用来表示所述待测非球面镜(6)的沿该第一标准反射镜(701)中心到所述待测非球面镜(6)中心方向的角度情况;所述计算机系统(9)与所述相移干涉仪(2)、所述轴向位移台(4)、所述倾斜调整台(401)、所述升降装置(5)以及所述第一自准直仪(8)、第二自准直仪(10)连接,用于采集、保存及处理所述相移干涉仪(2)采集的面形数据以及第一自准直仪(8)、第二自准直仪(10)采集的所述待测非球面镜(6)调整过程中相对角度变化,并通过控制所述轴向位移台(4)、所述倾斜调整台(401)以及所述升降装置(5)对所述待测非球面镜(6)的位置进行调整,实现检测光路的计算机辅助调整。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01B11/24
G 物理

G01 测量;测试

G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/24 用于计量轮廓或曲率

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220329
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111622488 20220329 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人姓名
金怡