[发明专利] 用于精密运动平台的模型预测运动控制方法及其系统 – CN114185270A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111425076.5
申请日
20211126
公开(公告)号
CN114185270A
公开(公告)日
20220315
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
郝朝宇;宗明成;武志鹏;李璟;殷超;齐月静 专利类型 发明专利
摘要
本公开提供一种用于精密运动平台的模型预测运动控制方法及其系统,用于控制精密运动平台,用于精密运动平台的模型预测运动控制方法包括以下步骤:获取位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据;根据位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据,得到预测数据以及补偿数据;根据预测数据以及补偿数据,得到当前时刻的运动平台输入数据。在本公开提供的技术方案中,通过过往多个时刻的平台位置数据与位置输入数据产生预测数据,并同时针对预测数据产生补偿数据,进行动态调整,采用具有预测性质的控制方法来提前估计误差,能够根据平台位置数据,实时跟踪精密运动平台产生的误差,并根据误差控制计算精密运动平台实际的控制输入,提高精密运动平台跟踪精度。
主权项
1.一种用于精密运动平台的模型预测运动控制方法,用于控制精密运动平台,其特征在于,包括以下步骤:获取位置输入数据以及过往多个时刻的运动平台位置数据;根据所述位置输入数据以及过往多个时刻的所述运动平台位置数据,得到预测数据以及补偿数据;根据所述预测数据以及所述补偿数据,得到当前时刻的运动平台输入数据。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G05B13/04
G 物理

G05 控制;调节

G05B 一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置

G05B13/04 包括使用模型或模拟器的〔3〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220315
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111425076 20220315 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
王文思