[发明专利] 日盲紫外光电探测器及其制备方法 – CN114171634A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111470865.0
申请日
20211203
公开(公告)号
CN114171634A
公开(公告)日
20220311
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
陈一仁;张志伟;周星宇;孙晓娟;黎大兵;缪国庆;蒋红;宋航 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种日盲紫外光电探测器及其制备方法,日盲紫外光电探测器包括从下至上依次设置的基底、缓冲层、多周期薄膜层、金属叉指电极;多周期薄膜层至少为双层结构,多周期薄膜层的各层由GaN、AlxGa1‑xN和AlN中的任意两种或三种材料依次叠加构成。本发明提供的日盲紫外光电探测器及其制备方法,通过设置具有折射率差异的多层结构的多周期薄膜层,通过控制多周期薄膜层厚度、周期数实现可选择的对特定波段辐射的反射率增强,实现双波段日盲紫外光电探测的新思路,解决单一光学带隙半导体材料无法实现双波段探测的问题。
主权项
1.一种日盲紫外光电探测器,包括从下至上依次设置的基底、缓冲层、多周期薄膜层、金属叉指电极;其特征在于,所述多周期薄膜层至少为双层结构,所述多周期薄膜层的各层由GaN、AlxGa1 xN和AlN中‑的任意两种或三种材料依次叠加构成;其中,0

 

 
IPC信息
IPC主分类号
H01L31/109
H 电学

H01 基本电气元件

H01L 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件

H01L31/109 为PN异质结型势垒的〔5〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220311
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111470865 20220311 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218
代理人姓名
高一明