[发明专利] 微纳器件三维结构光学检测装置及方法 – CN114252007A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202011005007.4
申请日
20200922
公开(公告)号
CN114252007A
公开(公告)日
20220329
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
石俊凯;李冠楠;陈晓梅;黎尧;刘立拓;高超;董登峰;周维虎 专利类型 发明专利
摘要
一种微纳器件三维结构光学检测装置,包括光源、光束整形模块、半透半反镜、聚焦透镜、平移台、探测器和计算机,其中,光源输出的激光经过所述光束整形模块完成整形扩束,扩束后的平行光束由半透半反镜反射,再由聚焦透镜聚焦,照射到待测样品上;将待测样品放置在所述平移台上,且处于离焦位置;反射光束依次经过聚焦透镜、半透半反镜后由所述探测器探测;平移台和探测器由所述计算机联动控制,实现扫描、数据采集同步进行。本发明提出的装置及方法可测量线和沟槽的线宽、高度/深度、侧壁角等及各参数均匀性,颗粒和孔的直径、高度/深度、侧壁角及各参数均匀性,也可测量S/L形结构、阵列结构或多层堆叠等复杂结构。
主权项
1.一种微纳器件三维结构光学检测装置,其特征在于,包括光源、光束整形模块、半透半反镜、聚焦透镜、平移台、探测器和计算机,其中,所述光源输出的激光经过所述光束整形模块完成整形扩束,扩束后的平行光束由所述半透半反镜反射,再由所述聚焦透镜聚焦,照射到待测样品上;将所述待测样品放置在所述平移台上,且处于离焦位置;反射光束依次经过所述聚焦透镜、所述半透半反镜后由所述探测器探测;所述平移台和所述探测器由所述计算机联动控制,实现扫描、数据采集同步进行。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01B11/00
G 物理

G01 测量;测试

G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备(G01B9/00组中包括的各式仪器本身入G01B9/00)〔2〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220329
法律状态
公开 法律状态信息
CN202011005007 20220329 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
孙蕾