[发明专利] 多干涉仪组合应用安装调整装置 – CN114088215A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111351425.3
申请日
20211115
公开(公告)号
CN114088215A
公开(公告)日
20220225
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
齐威;李璟;杨光华;陈进新;卢增雄;齐月静;苏佳妮 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及精密机械技术领域,提供了一种多干涉仪组合应用安装调整装置,包括:载物台;干涉仪组,包括分别位于载物台的前侧、左侧和后侧的第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪,载物台上分别相对第一干涉仪和第三干涉仪的位置上设有第一反射镜和第二反射镜,第一反射镜和第二反射镜的正上方分别设置有第一Z向反射镜和第二Z向反射镜;光路传播部,包括第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径,入射光分别沿第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径进入第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪,第一干涉仪的出射光束经第一反射镜反射至第一Z向反射镜,第三干涉仪的出射光束经第二反射镜反射至第二Z向反射镜。
主权项
1.一种多干涉仪组合应用安装调整装置,其特征在于,包括:载物台(1);干涉仪组,包括分别位于所述载物台(1)的前侧、左侧和后侧的第一干涉仪(2)、第二干涉仪(8)和第三干涉仪(11),所述载物台(1)上分别相对第一干涉仪(2)和第三干涉仪(11)的位置上设有第一反射镜(15)和第二反射镜(14),所述第一反射镜(15)和第二反射镜(14)的正上方分别设置有第一Z向反射镜(13)和第二Z向反射镜(12);光路传播部,包括第一光路传播路径(L1)、第二光路传播路径(L2)和第三光路传播路径(L3),入射光分别沿所述第一光路传播路径(L1)、第二光路传播路径(L2)和第三光路传播路径(L3)进入第一干涉仪(2)、第二干涉仪(8)和第三干涉仪(11),所述第一干涉仪(2)的出射光束经第一反射镜(15)反射至第一Z向反射镜(13),所述第三干涉仪(11)的出射光束经第二反射镜(14)反射至第二Z向反射镜(12)。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01J9/02
G 物理

G01 测量;测试

G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法

G01J9/02 采用干涉法(用干涉仪以光学方法测量物体的线性寸尺入G01B9/02)〔3〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220225
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111351425 20220225 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
王文思