[发明专利] 基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统及方法 – CN114152547A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111455052.4
申请日
20211201
公开(公告)号
CN114152547A
公开(公告)日
20220308
申请(专利权)人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
发明人
罗先刚;张涛;高平;岳伟生;蒲明博;李雄 专利类型 发明专利
摘要
本公开提供一种基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统,包括:光源组件,用于产生激光并将激光进行分束;Y型光纤阵列,其中每根Y型光纤包括输入端、第一输出端、第二输出端,分束后的激光分别从每根Y型光纤的输入端输入;微透镜阵列,其中每个微透镜组与每根Y型光纤的第一输出端分别对应,用于将激光聚焦于待检测样品的表面,并收集被激光激发的拉曼信号,分别通过每根Y型光纤的第二输出端输出;拉曼光谱组件,用于接收拉曼信号并得到待检测样品表面的颗粒成分和位置分布。本公开还提供了一种基于拉曼光谱的颗粒检测分析方法。本公开能够实现高通量、快速、实时的大尺寸掩模或晶圆等表面的颗粒检测和成分分析。
主权项
1.一种基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统,其特征在于,包括:光源组件(2),用于产生激光并将所述激光进行分束;Y型光纤阵列(14),其中每根Y型光纤包括输入端(502)、第一输出端(501)、第二输出端(503),分束后的激光分别从每根所述Y型光纤的输入端(502)输入;微透镜阵列(13),其中每个微透镜组与每根所述Y型光纤的第一输出端(501)分别对应,用于将所述激光聚焦于待检测样品(12)的表面,并收集被所述激光激发的拉曼信号,分别通过每根所述Y型光纤的第二输出端(503)输出;拉曼光谱组件(3),用于接收所述拉曼信号并得到所述待检测样品(12)表面的颗粒成分和位置分布。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01N15/00
G 物理

G01 测量;测试

G01N 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N15/00 测试颗粒的特性;测试多孔材料的渗透性,孔隙体积或者孔隙表面积(微生物的识别入C12Q)〔4〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220308
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111455052 20220308 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
王文思