[发明专利] 出胶喷嘴的清洗设备及清洗方法 – CN114247677A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202011017830.7
申请日
20200924
公开(公告)号
CN114247677A
公开(公告)日
20220329
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
张成根;林锺吉;金在植;贺晓彬;李亭亭;刘金彪 专利类型 发明专利
摘要
本申请涉及一种出胶喷嘴的清洗设备及清洗方法。所述出胶喷嘴的清洗设备,包括:清洗槽,在所述清洗槽内形成有多个用于安置出胶喷嘴的容纳腔;喷液部,所述喷液部设置在所述容纳腔的内壁上,用于向安置在所述容纳腔内的出胶喷嘴喷射清洗液;气体发生装置,所述气体发生装置设置在所述容纳腔的底部,所述气体发生装置用于在所述容纳腔的底部生成气体。本申请提出的清洗设备,可以利用喷液部对出胶喷嘴喷射清洗液,出胶喷嘴的端部浸泡在清洗液中,气体发生装置工作时在容纳腔的底部生成大量气泡,一部分气泡进入到出胶喷嘴的内部,并带动出胶喷嘴内部的清洗液翻动,从而对附着在出胶喷嘴内壁上的污染物形成冲击作用,进而清洗掉污染物。
主权项
1.一种出胶喷嘴的清洗设备,其特征在于,包括:清洗槽,在所述清洗槽内形成有多个用于安置出胶喷嘴的容纳腔;喷液部,所述喷液部设置在所述容纳腔的内壁上,用于向安置在所述容纳腔内的出胶喷嘴喷射清洗液;气体发生装置,所述气体发生装置设置在所述容纳腔的底部,所述气体发生装置用于在所述容纳腔的底部生成气体。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
B08B3/02
B 作业;运输

B08 清洁

B08B 一般清洁;一般污垢的防除

B08B3/02 用喷射力来清洁

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220329
法律状态
公开 法律状态信息
CN202011017830 20220329 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人姓名
何家鹏