[发明专利] 一种镜片六自由度柔顺机构运动台 – CN114114585A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111511611.9
申请日
20211206
公开(公告)号
CN114114585A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
发明人
康霞;周吉;刘文静;程阳洋;路雨桐;胡松;赵立新 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台,包括:镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链,X向、Y1向和Y2向驱动电机,三个电机沿镜片圆周均布,电机轴端连接X向、Y1向及Y2向驱动装置,并在附近分别布置X向、Y1向及Y2向消隙装置。ZθXθY微动调节机构中包含上动板、Z1向电机、Z2向电机、Z3向电机、三个顶杆及镜筒。镜筒上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链,通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片Z方向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片θX、θY方向调节。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节,以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。
主权项
1.一种镜片六自由度柔顺机构运动台,其特征在于:包括:镜片(1)、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构;XYθZ微动调节机构包含柔性铰链(2),X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3),电机轴端采用螺纹连接X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3),并在附近分别布置X向消隙装置(5.1)、Y1向消隙装置(5.2)及Y2向消隙装置(5.3);ZθXθY微动调节机构中包含上动板(6)、Z1向电机(7.1)、Z2向电机(7.2)、Z3向电机(7.3)、第一顶杆(8.1)、第二顶杆(8.2)、第三顶杆(8.3)及镜筒(9),镜筒(9)上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3),通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)实现镜片Z方向单向调节,通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)分别实现镜片θX、θY方向单向调节,柔性铰链(2)与上动板(6)间采用螺钉连接,实现XYθZ微动调节机构和ZθXθY微动调节机构的连接。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G02B7/00
G 物理

G02 光学

G02B 光学元件、系统或仪器

G02B7/00 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111511611 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人姓名
江亚平