[发明专利] 一种超窄高密度多相对独立通道的柔性电极及其制备方法和应用 – CN114098746A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111211599.X
申请日
20211018
公开(公告)号
CN114098746A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
中国科学院深圳先进技术研究院
申请人地址
518055 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号
发明人
刘志远;李光林;孙静;杨焕;王琳 专利类型 发明专利
摘要
一种超窄高密度多相对独立通道的柔性电极及其制备方法和应用,属于传感器技术领域。本发明方法包括:(1)晶圆硅片旋涂牺牲层,烘干成膜;(2)旋涂弹性体溶液烘干;(3)柔性基底上贴掩模板后溅射或蒸镀金属导电膜,得到具有导电通路的柔性电极;(4)将电极两端的金属膜遮盖,将弹性体溶液稀释液均匀旋涂在未遮盖区域,烘干,或将稀释液烘干成膜后贴合在电极表面;(5)对电极进行切割,从晶圆硅片上释放,将用于检测的一端多余基底切除,制备得到超窄高密度多相对独立通道的柔性电极。本发明制备的柔性电极导通性良好且可重复性高,通道数量多,电极各通道检测端相对独立,可同时检测不同位点的生理电信号,贴合机体而不产生相对滑移。
主权项
1.一种超窄高密度多相对独立通道的柔性电极的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)取晶圆硅片表面旋涂一层牺牲层,烘干成膜;(2)旋涂一层弹性体溶液,烘干得到柔性基底;(3)在步骤(2)得到的柔性基底上贴掩模板后,置于磁控溅射或蒸镀设备中溅射或蒸镀金属导电膜,得到具有导电通路的柔性电极;(4)将步骤(3)得到的柔性电极两端的金属膜遮盖,将弹性体溶液稀释液均匀旋涂在除上述遮盖外的未遮盖区域,去除遮盖层,烘干得到具有绝缘层的柔性电极;或者,取硅片旋涂牺牲层,再旋涂一层弹性体溶液稀释液,烘干释放后得到薄膜,通过自粘贴附在具有导电通路的柔性电极的基底上,得到具有绝缘层的柔性电极;(5)用飞秒激光切割机对步骤(4)得到的柔性电极进行切割,从晶圆硅片上释放,将用于检测的一端多余基底切除,制备得到超窄高密度多相对独立通道的柔性电极。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
A61B5/294
A 人类生活需要

A61 医学或兽医学;卫生学

A61B 诊断;外科;鉴定

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111211599 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京市诚辉律师事务所 11430
代理人姓名
范盈;李玉娜