[发明专利] 一种获取衍射近场分布的方法 – CN114092490A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111335555.8
申请日
20211111
公开(公告)号
CN114092490A
公开(公告)日
20220225
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
李梓棋;韦亚一;董立松 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种获取衍射近场分布的方法,属于光刻技术领域,不但能够提高衍射近场分布计算结果的准确度,而且能够减少计算时间。方法包括:确定待获取衍射近场分布的目标掩模图形,并根据图形类型分割所述目标掩模图形,得到组成所述目标掩模图形的目标分割图形;确定与所述目标分割图形对应的目标核矩阵,并根据所述目标分割图形和所述目标核矩阵,得到与所述目标分割图形对应的目标区域衍射近场分布;拼接所有目标区域衍射近场分布,获取所述目标掩模图形的衍射近场分布。
主权项
1.一种获取衍射近场分布的方法,其特征在于,包括:确定待获取衍射近场分布的目标掩模图形,并根据图形类型分割所述目标掩模图形,得到组成所述目标掩模图形的目标分割图形;确定与所述目标分割图形对应的目标核矩阵,并根据所述目标分割图形和所述目标核矩阵,得到与所述目标分割图形对应的目标区域衍射近场分布;所述目标核矩阵中每一列元素与所述目标分割图形经重新排列后的像素位置对应,且表示与所述像素位置对应近场强度的权重;拼接所有目标区域衍射近场分布,获取所述目标掩模图形的衍射近场分布。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G06T7/11
G 物理

G06 计算;推算;计数

G06T 一般的图像数据处理或产生

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220225
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111335555 20220225 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386
代理人姓名
王首峰