[发明专利] 一种耐腐蚀BCSiAlCrNx高熵氮化物薄膜及其制备方法 – CN114107900A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111488052.4 |
申请日
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20211208 |
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公开（公告）号
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CN114107900A |
公开（公告）日
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20220301 |
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申请（专利权）人
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中国科学院兰州化学物理研究所 | ||
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申请人地址
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730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
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发明人
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张斌;赖振国;张俊彦;贾倩;高凯雄 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明公开了一种耐腐蚀BCSiAlCrNX高熵氮化物薄膜，主要可用于海水防腐、船舶工业等领域。该耐腐蚀高熵氮化物薄膜的结构自基底表面由内向外依次为Ti粘结层、TiN过渡层、BCSiAlCrNX高熵氮化物薄膜。本发明通过从Ti、TiN到BCSiAlCrNX高熵氮化物薄膜的过渡设计，对薄膜的结合力和表面致密度有很大的提高，为实现防腐薄膜提供保障；薄膜表面结合高熵合金和氮化物的优点，形成具有高防腐性能的化合物，有效的提高了薄膜的防腐能力；利用磁控溅射突破性地将高熵合金中的部分元素替代为硼碳硅无机元素，并制备高熵氮化物，有利于提高薄膜的强韧性，降低部分金属带来的海洋污染可能性，且延长防护使用寿命。 | ||
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主权项
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1.一种耐腐蚀BCSiAlCrNX高熵氮化物薄膜，自基底表面由内向外依次为：Ti粘结层、TiN过渡层、BCSiAlCrNX高熵氮化物薄膜。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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C23C14/06 | ||
| C 化学；冶金
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C14/04优先）〔4〕 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220301 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111488052 20220301 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 |
代理人姓名
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张英荷 |