[发明专利] 一种真空干涉仪装置及其光学检测方法 – CN114076575A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111336220.8
申请日
20211112
公开(公告)号
CN114076575A
公开(公告)日
20220222
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
胡海翔;罗霄;张学军;杨茜;薛栋林 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种真空干涉仪装置及其光学检测方法,所述真空干涉仪装置通过将干涉仪的干涉仪本体和相移器、标准镜分离,并将所述干涉仪本体置于常温常压环境,和将所述相移器、所述标准镜以及被检测元件置于真空或低气压环境的方式,既消除了所述平行平板窗口对干涉检测光路带来的随机误差和系统误差,又能够实现在无大气扰动下对被检测元件进行光学检测,实现高精度检测。
主权项
1.一种真空干涉仪装置,其特征在于,包括密闭压力容器和干涉仪,所述干涉仪包括设置于所述密闭压力容器内的干涉仪本体和设置于所述密闭压力容器之外的标准镜,所述密闭压力容器内部被设置为常温常压环境,外部被设置为真空或低气压环境,其中所述干涉仪本体的出光口与所述标准镜的位置相对应,所述干涉仪本体的出射光经由所述出光口射出,经所述标准镜到达位于真空或低压环境的被检测元件后经原路返回,完成对被检测元件的光学检测。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01B11/24
G 物理

G01 测量;测试

G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/24 用于计量轮廓或曲率

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220222
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111336220 20220222 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人姓名
魏毅宏