[发明专利] 一种灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器的制备方法 – CN114136203A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111338988.9
申请日
20211112
公开(公告)号
CN114136203A
公开(公告)日
20220304
申请(专利权)人
中国科学院金属研究所
申请人地址
110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
发明人
张广平;吴绪苹;罗雪梅;宋竹满 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器的制备方法,属于应变电测与传感器技术领域。该方法包括三个步骤:在柔性基底上溅射一层金属薄膜、对薄膜进行疲劳加载使其表面产生疲劳裂纹、在薄膜两端连接电导线。利用本发明可以制备出兼具高灵敏度和高循环稳定性的柔性应变传感器。采用本发明所制备的应变传感器具有十的三次方以上的高灵敏度因子,能够精准感应极微小的应变(小于1.5%的应变),同时具有优异的循环稳定性,实现了柔性应变传感器两大关键性能的结合,此外还具有易于制备、性能便于调控等优点,为柔性电子器件中应变检测技术的发展提供了一种新思路。
主权项
1.一种灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器的制备方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:(1)将柔性基底裁剪成大小合适的矩形,并在柔性基底上沉积一层或多层金属薄膜;(2)采用力学试验机将步骤(1)沉积有金属薄膜的柔性基底在其长度方向(也是最终器件的应变传感方向)上以一定的应变幅和频率进行拉‑拉疲劳加载,一定周次后卸载,以使薄膜表面形成一定密度的横向疲劳裂纹;(3)使用导电胶在步骤(2)所得带疲劳裂纹的柔性基底金属薄膜的两端连接电导线,即得到所述灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01B7/16
G 物理

G01 测量;测试

G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量

G01B7/16 用于计量固体的变形,例如电阻应变仪

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220304
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111338988 20220304 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人姓名
于晓波