[发明专利] 一种显微镜的锁焦探测系统和方法 – CN114114663A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202110207781.1 |
申请日
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20210225 |
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公开（公告）号
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CN114114663A |
公开（公告）日
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20220301 |
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申请（专利权）人
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广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 | ||
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申请人地址
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510530 广东省广州市黄埔区连云路388号
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发明人
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杨乐宝;王宏达 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明公开了一种显微镜的锁焦探测系统和方法，该方法包括，锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量，并将距离的变化量发送至锁焦控制器，锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器，Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动，将物镜和样品的间距保持在预设的焦距值内。本发明抛开横向放大率作为光学尺寸的放大，采用轴向放大率作为光学放大率，将轴向放大率测量出来，轴向放大率会正比于横向放大率的平方，做到更加精密的探测。 | ||
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主权项
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1.一种显微镜的锁焦探测系统，其特征在于，包括：物镜、管镜、锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器和成像CCD；Z轴位移器设置在物镜的侧边；物镜在样品的正下方，管镜在物镜的正下方，成像CCD在管镜的正下方，锁焦探测模组在管镜和成像CCD的之间，锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器依次连接。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G02B21/24 | ||
| G 物理
G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器 G02B21/24 底座结构 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220301 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202110207781 20220301 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人姓名
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雷芬芬 |