[发明专利] 一种显微镜的锁焦探测系统和方法 – CN114114663A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202110207781.1
申请日
20210225
公开(公告)号
CN114114663A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请人地址
510530 广东省广州市黄埔区连云路388号
发明人
杨乐宝;王宏达 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种显微镜的锁焦探测系统和方法,该方法包括,锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量,并将距离的变化量发送至锁焦控制器,锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器,Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动,将物镜和样品的间距保持在预设的焦距值内。本发明抛开横向放大率作为光学尺寸的放大,采用轴向放大率作为光学放大率,将轴向放大率测量出来,轴向放大率会正比于横向放大率的平方,做到更加精密的探测。
主权项
1.一种显微镜的锁焦探测系统,其特征在于,包括:物镜、管镜、锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器和成像CCD;Z轴位移器设置在物镜的侧边;物镜在样品的正下方,管镜在物镜的正下方,成像CCD在管镜的正下方,锁焦探测模组在管镜和成像CCD的之间,锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器依次连接。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G02B21/24
G 物理

G02 光学

G02B 光学元件、系统或仪器

G02B21/24 底座结构

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202110207781 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
广州市华学知识产权代理有限公司 44245
代理人姓名
雷芬芬