[发明专利] 一种显微镜的锁焦探测系统和方法 – CN114114663A 全文链接一 全文链接二
基本信息 | |||
---|---|---|---|
申请号
|
CN202110207781.1 |
申请日
|
20210225 |
公开(公告)号
|
CN114114663A |
公开(公告)日
|
20220301 |
申请(专利权)人
|
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 | ||
申请人地址
|
510530 广东省广州市黄埔区连云路388号
|
||
发明人
|
杨乐宝;王宏达 | 专利类型 | 发明专利 |
摘要
|
本发明公开了一种显微镜的锁焦探测系统和方法,该方法包括,锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量,并将距离的变化量发送至锁焦控制器,锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器,Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动,将物镜和样品的间距保持在预设的焦距值内。本发明抛开横向放大率作为光学尺寸的放大,采用轴向放大率作为光学放大率,将轴向放大率测量出来,轴向放大率会正比于横向放大率的平方,做到更加精密的探测。 | ||
主权项
|
1.一种显微镜的锁焦探测系统,其特征在于,包括:物镜、管镜、锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器和成像CCD;Z轴位移器设置在物镜的侧边;物镜在样品的正下方,管镜在物镜的正下方,成像CCD在管镜的正下方,锁焦探测模组在管镜和成像CCD的之间,锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器依次连接。 |
IPC信息
|
|||
---|---|---|---|
IPC主分类号
|
G02B21/24 | ||
G 物理
G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器 G02B21/24 底座结构 |
法律状态信息
|
|||||
---|---|---|---|---|---|
法律状态公告日
|
20220301 |
法律状态
|
公开 | 法律状态信息 |
CN202110207781 20220301 公开 公开
|
代理信息
|
|||
---|---|---|---|
代理机构名称
|
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人姓名
|
雷芬芬 |