[发明专利] 一种弹性波谐振器及多通带滤波器 – CN114124021A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111437446.7 |
申请日
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20211129 |
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公开（公告）号
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CN114124021A |
公开（公告）日
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20220301 |
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申请（专利权）人
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | ||
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申请人地址
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200050 上海市长宁区长宁路865号
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发明人
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欧欣;房晓丽;张师斌;郑鹏程;周鸿燕 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本申请实施例所公开的一种弹性波谐振器及多通带滤波器，弹性波谐振器包括衬底、第一电极层、压电薄膜和第二电极层。其中，压电薄膜包括多个刻蚀区域和多个非刻蚀区域，刻蚀区域的深度与压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1)内，相邻两个刻蚀区域间的中心间距与压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1.25]内，第一电极层设置在衬底上，压电薄膜设置在第一电极层上，第二电极层设置在压电薄膜上，并以第二层电极为掩膜版对压电薄膜进行部分刻蚀。谐振器在较大的频率区间内可以获得多个无杂散模式、大机电耦合系数的谐振。基于本申请实施例通过调整压电薄膜的刻蚀尺寸和刻蚀深度，可以改变谐振频率和机电耦合系数，可搭建多通带滤波器。 | ||
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主权项
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1.一种弹性波谐振器，其特征在于，包括：衬底、第一电极层、压电薄膜和第二电极层；所述压电薄膜包括多个刻蚀区域和多个非刻蚀区域，所述刻蚀区域的深度与所述压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1)内，相邻两个所述刻蚀区域间的中心间距与所述压电薄膜的比值在区间[0.4,1.25]内；所述第一电极层设置在所述衬底上；所述压电薄膜设置在所述第一电极层上；所述第二电极层设置在所述压电薄膜的所述非刻蚀区域上。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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H03H9/02 | ||
| H 电学
H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 H03H9/02 零部件〔3〕 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220301 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111437446 20220301 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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广州三环专利商标代理有限公司 44202 |
代理人姓名
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方秀琴;贾允 |