[发明专利] 一种弹性波谐振器及多通带滤波器 – CN114124021A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111437446.7
申请日
20211129
公开(公告)号
CN114124021A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
发明人
欧欣;房晓丽;张师斌;郑鹏程;周鸿燕 专利类型 发明专利
摘要
本申请实施例所公开的一种弹性波谐振器及多通带滤波器,弹性波谐振器包括衬底、第一电极层、压电薄膜和第二电极层。其中,压电薄膜包括多个刻蚀区域和多个非刻蚀区域,刻蚀区域的深度与压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1)内,相邻两个刻蚀区域间的中心间距与压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1.25]内,第一电极层设置在衬底上,压电薄膜设置在第一电极层上,第二电极层设置在压电薄膜上,并以第二层电极为掩膜版对压电薄膜进行部分刻蚀。谐振器在较大的频率区间内可以获得多个无杂散模式、大机电耦合系数的谐振。基于本申请实施例通过调整压电薄膜的刻蚀尺寸和刻蚀深度,可以改变谐振频率和机电耦合系数,可搭建多通带滤波器。
主权项
1.一种弹性波谐振器,其特征在于,包括:衬底、第一电极层、压电薄膜和第二电极层;所述压电薄膜包括多个刻蚀区域和多个非刻蚀区域,所述刻蚀区域的深度与所述压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1)内,相邻两个所述刻蚀区域间的中心间距与所述压电薄膜的比值在区间[0.4,1.25]内;所述第一电极层设置在所述衬底上;所述压电薄膜设置在所述第一电极层上;所述第二电极层设置在所述压电薄膜的所述非刻蚀区域上。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
H03H9/02
H 电学

H03 基本电子电路

H03H 阻抗网络,例如谐振电路;谐振器

H03H9/02 零部件〔3〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111437446 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人姓名
方秀琴;贾允