[发明专利] 一种密封结构及扫描电镜 – CN114062401A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111567092.8 |
申请日
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20211220 |
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公开（公告）号
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CN114062401A |
公开（公告）日
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20220218 |
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申请（专利权）人
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北京中科科仪股份有限公司 | ||
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申请人地址
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100089 北京市海淀区中关村北二条13号
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发明人
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刘其武 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本申请公开了一种密封结构及扫描电镜，涉及真空密封技术领域，用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封，腔室的腔室壁上，围绕传送通道的通道口设置有固定密封面；密封结构包括有活动地连接在腔室壁上的密封部件，密封部件设置有移动密封面，密封部件移动来打开或闭合传送通道，且闭合通道口时，移动密封面与固定密封面压抵贴合而密封通道口。本申请提供的密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。 | ||
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主权项
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1.一种密封结构，用于对腔室(1)上供物体进出的传送通道(2)进行密封，其特征在于，所述腔室(1)的腔室壁(11)上，围绕所述传送通道(2)的通道口(21)设置有固定密封面(411)；所述密封结构包括有活动地连接在所述腔室壁(11)上的密封部件(3)，所述密封部件(3)设置有移动密封面(311)，所述密封部件(3)移动来打开或闭合所述传送通道(2)，且闭合所述通道口(21)时，所述移动密封面(311)与所述固定密封面(411)压抵贴合而密封所述通道口(21)。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G01N23/04 | ||
| G 物理
G01 测量；测试 G01N 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 G01N23/04 并形成图像(电子显微镜本身入H01J) |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220218 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111567092 20220218 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 |
代理人姓名
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孙健康 |