[发明专利] 一种基于小口径平面镜装调大口径光学系统的装调方法 – CN114185144A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111489961.X
申请日
20211208
公开(公告)号
CN114185144A
公开(公告)日
20220315
申请(专利权)人
中国科学院国家天文台
申请人地址
100101 北京市朝阳区大屯路甲20号
发明人
沈宇樑;王东光;侯俊峰 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种基于小口径平面镜装调大口径光学系统的装调方法。本发明包括一个待装调光学系统、一块小口径平面反射镜和一台干涉仪;待装调光学系统完成粗定位后,将平面反射镜放置在待装调的光学系统前;光学系统、小口径平面反射镜和干涉仪构成干涉光路;通过干涉仪得到系统成像波像差均方根值和各项泽尼克多项式系数值后,使用光学软件进行逆向优化,得到光学元件的失调量,从而进行系统装调。与传统的全口径平面反射镜干涉装调方法相比,小口径平面反射镜造价低,大大降低装调设备的成本;并且小口径平面反射镜在特殊姿态下能较好的保证其面型精度,适用于特殊姿态的光学系统装调。
主权项
1.一种基于小口径平面镜装调大口径光学系统的装调方法,其步骤包括:1)将待装调的光学系统中各光学元件的实测参数信息输入光学仿真软件,建立光学系统模型,得到光学系统在焦点处的波像差RMS值和Zernike多项式各项系数值;2)在所述光学系统模型中截取一小口径圆形区域,获得光学系统焦点处在该小口径圆形区域内的波像差RMS值和Zernike多项式各项系数值;3)所述光学系统中的各光学元件完成粗定位后,将干涉仪放置在所述光学系统的焦点处,将一小口径平面反射镜放置在粗装调所得光学系统前,所述光学系统、小口径平面反射镜和干涉仪构成干涉光路;其中所述小口径平面反射镜的口径和对准区域与所选小口径圆形区域对应一致;4)使用干涉仪测量当前所述光学系统焦点处在该子孔径区域内的波像差RMS值和Zernike多项式各项系数值;5)将步骤4)测量得到的低阶像差作为优化目标值输入到所述光学系统模型中进行逆向优化,得到所述光学系统各光学元件的位置失调量;6)根据步骤5)计算所得的各光学元件位置失调量对各光学元件进行装调到位后,使用干涉仪获得装调完成后光学系统焦点处该小口径圆形区域内的波像差RMS值和Zernike多项式各项系数值,与步骤2)所得理论波像差RMS值和Zernike多项式各项系数值进行核对;7)步骤6)核对一致后,及完成系统装调;否则返回步骤4)。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G02B7/00
G 物理

G02 光学

G02B 光学元件、系统或仪器

G02B7/00 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220315
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111489961 20220315 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京君尚知识产权代理有限公司 11200
代理人姓名
司立彬