[发明专利] 一种双酚A衍生物及其制备方法和在光刻中的应用 – CN114075155A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202010803879.9
申请日
20200811
公开(公告)号
CN114075155A
公开(公告)日
20220222
申请(专利权)人
中国科学院化学研究所
申请人地址
100190 北京市海淀区中关村北一街2号
发明人
杨国强;王亚飞;陈龙;玉佳婷;胡睿;郭旭东;王双青 专利类型 发明专利
摘要
本发明属于光刻技术领域,具体涉及一种双酚A衍生物及其制备方法和在光刻中的应用。本发明所提供的化合物分子结构简洁,分子量可控,合成步骤简单,且其具有较高的热稳定性,烘烤中不析出,光刻中不易变性;所提供的负性分子玻璃光刻胶具有较好的成膜性,较高的热稳定性,储存不易变性,且粘度低,使用过程中无需额外使用溶剂稀释。在365nm紫外波长下曝光,曝光图形具有较高的对比度,优异的分辨率,较好的灵敏度,能够达到3.5μm的光刻线宽。
主权项
1.式(I)所示的化合物:其中,R为如下基团中的一种或H,条件是R不全为H:上述基团中*处为连接位点;R为1、2、3、4或5。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
C07D303/27
C 化学;冶金

C07 有机化学

C07D 杂环化合物

C07D303/27 有全部被含环氧乙烷化合物醚化的羟基〔3〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220222
法律状态
公开 法律状态信息
CN202010803879 20220222 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535
代理人姓名
谢蓉;黄海丽