[发明专利] 一种光学镜面在线检测方法及检测装置 – CN114112318A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202010902383.7
申请日
20200901
公开(公告)号
CN114112318A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
南京先进激光技术研究院;中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
210038 江苏省南京市经济技术开发区恒园路1号龙港科技园A楼
发明人
王建磊;陈明;高雅;丁建永;周军;陈卫标 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种光学镜面在线检测方法及检测装置,所述光学镜面在线检测方法使用共焦检测原理,通过变焦镜组获取光学镜面图像,使用图像放大装置将光学镜面图像放大,最后对放大后的图像进行检测,定位和标定损伤点;所述光学镜面在线检测装置包括指示光源、反光镜、分光镜、变焦镜组和图像检测单元,图像检测单元包括图像放大装置和图像检测组件,分光镜和反光镜分别安装在变焦组件的上方和下方;图像放大装置、图像检测组件顺序固定在分光镜的反射光路上;本发明同时对光学镜面扫描检测和精细检测,检测精度高,检测装置整体结构简单紧凑,体积小,可显著提高激光待检测光路的检测效率。
主权项
1.一种光学镜面在线检测方法,其特征在于:包括步骤:S01、采用具有细光束与大光斑两种模式的指示光源,将指示光源调整为细光束模式,以指示光源发出的指示光作为基准光,指示光源的入射光路在到达光学镜面之前通过一变焦镜组,指示光源的光路与变焦镜组主光轴重合;调整光学镜面位置,使光学镜面的反射光路与指示光源的入射光路重合;S02、将指示光源调整为大光斑模式,使指示光源发出的指示光覆盖光学镜面;S03、通过调整变焦镜组的焦距,使光学镜面在变焦镜组的成像面成像;S04、使用图像放大装置将变焦镜组获取的光学镜面成像放大;S05、使用图像检测组件显示放大后的光学镜面成像,判断光学镜面表面是否存在缺陷。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01M11/02
G 物理

G01 测量;测试

G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试;未列入其他类目的结构部件或设备的测试

G01M11/02 光学性质的测试

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202010902383 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
南京睿之博知识产权代理有限公司 32296
代理人姓名
刘菊兰