[发明专利] 一种偏振灵敏度可调控的可见近红外金属薄膜反射镜 – CN114114488A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111324615.6
申请日
20211110
公开(公告)号
CN114114488A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址
200083 上海市虹口区玉田路500号
发明人
马小凤;李耀鹏;蔡清元;王曙光;卫延华;刘定权 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种偏振灵敏度可调控的可见近红外金属薄膜反射镜,通过优化金属薄膜和介质保护膜的厚度,同时实现反射镜的高反射率和偏振灵敏度精确调控。利用金属镍铬复合材料实现反射镜的强附着性能,利用金属银膜实现反射镜在可见近红外波段的高反射,利用金属铝膜的偏振效应通过调整铝膜层厚度实现反射镜在可见近红外波段偏振灵敏度大小的精确调控,利用双层介质膜层组合实现金属反射膜的抗氧化与防潮保护,通过优化该双层介质膜层厚度实现反射镜偏振波段的精确调控。本发明的反射镜反射率高、偏振灵敏度大小且偏振波段精确可调。
主权项
1.一种偏振灵敏度可调控的可见近红外金属反射镜,包括光学基片(1)、附着层(2),金属Ⅰ膜层(3)、金属Ⅱ膜层(4)以及介质防护层(5),其特征在于:所述的可见近红外金属反射镜的结构为:在光学基片(1)上依次镀制附着层(2),金属Ⅰ膜层(3),金属Ⅱ膜层(4)以及介质防护层(5);其中:所述的光学基片(1)采用石英、微晶玻璃、碳化硅;所述的附着层(2)采用镍铬金属复合膜层或金属铬膜层;所述的金属Ⅰ膜层(3)采用在可见至近红外波段具有高反射率的金属银膜;所述的金属Ⅱ膜层(4)采用在可见至近红外波段具有高偏振灵敏度的金属铝膜,其厚度在20nm以内,其具体厚度根据反射镜偏振灵敏度调控数据确定;所述的介质防护层(5)为高折射率材料nH和低折射率材料nL两种氧化物介质材料组合,其结构为:aLbH其中a、b代表介质防护层(5)各膜层的厚度系数,L为λ0/4膜厚的低折射率材料nL膜层,H为λ0/4膜厚的高折射率材料nH膜层,各膜层的厚度根据偏振灵敏度调控波段设定中心波长λ0,且介质防护层(5)厚度大于80nm。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G02B5/08
G 物理

G02 光学

G02B 光学元件、系统或仪器

G02B5/08 反射镜

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111324615 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
上海沪慧律师事务所 31311
代理人姓名
郭英