[发明专利] 一种三轴高光学细分光栅尺 – CN114111587A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111283491.1
申请日
20211101
公开(公告)号
CN114111587A
公开(公告)日
20220301
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800 上海市嘉定区清河路390号
发明人
韦春龙;周常河 专利类型 发明专利
摘要
一种三轴高光学细分光栅尺,包括:双频偏振平行光及参考光产生模块,非偏振分束棱镜,组合光栅,二维细分棱镜组件,二维光栅,外差光电转换单元模块,光源驱动和信号探测及处理器。其特征在于,双频偏振平行光及参考光产生模块产生三束双频偏振平行光,通过非偏振分束棱镜和组合光栅后,入射二维细分棱镜组件,经由二维光栅和二维细分棱镜组件间来回近Littrow角衍射‑反射,最终自准直回射,分别经组合光栅合束,与各自入射光束重合,再由非偏振分束棱镜反射,由外差光电转换单元模块接受,进而由光源驱动和信号探测及处理器探测处理,获得二维光栅相对运动的X/Y/θz三轴的8倍及以上光学细分的位移和角度测量。
主权项
1.一种三轴高光学细分光栅尺,其特征在于,包括:双频正交偏振平行光及参考光产生模块、非偏振分束棱镜、组合光栅、二维细分棱镜组件、二维光栅、外差光电转换单元模块以及光源驱动和信号探测及处理器;双频正交偏振平行光及参考光产生模块,用于产生至少三束双频正交偏振平行光束作为入射光及一束双频偏振光束作为参考光,该参考光由所述的外差光电转换单元模块接收,经光电转换后,进而由光源驱动和信号探测及处理器探测处理;所述的三束双频正交偏振平行光束经非偏振分束棱镜透射或反射后,由所述的组合光栅分束成三组光束,每组光束均由两束光束构成,且第二组光束和第三组光束的出射面互相平行,第一组光束的出射面分别与所述的第二组光束的出射面和第三组光束的出射面垂直;所述二维光栅的两个维度的栅线方向是正交的且分别设为三轴中的X轴和Y轴,所述二维光栅的两个维度的栅线方向组成的平面与相应直角坐标系的Z轴垂直,且所述二维细分棱镜中心对称轴设为Z轴,围绕Z轴的转角θz是三轴中的第三轴;所述每组光束各自分成的两束光束在所述的二维光栅和二维细分棱镜组件间来回近Littrow角衍射‑反射,最终自准直回射入所述的组合光栅,与所述每组光束各自入射光束重合,再经所述的非偏振分束棱镜反射或透射后,由所述的外差光电转换单元模块接收,经光电转换后,进而由光源驱动和信号探测及处理器探测处理,获得二维光栅相对运动的X/Y/θz三轴的8倍及以上光学细分的位移和角度测量。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
G01B11/02
G 物理

G01 测量;测试

G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度(G01B11/08优先)

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220301
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111283491 20220301 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317
代理人姓名
张宁展