[实用新型] 基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统 – CN215865742U 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202121962971.6 |
申请日
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20210819 |
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公开（公告）号
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CN215865742U |
公开（公告）日
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20220218 |
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申请（专利权）人
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中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 | ||
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申请人地址
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230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
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发明人
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董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 | 专利类型 | 实用新型 |
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摘要
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本实用新型公开了一种基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；所述成像单元用于产生P偏振光进行均匀照明，包括上表面成像单元、下表面成像单元，分别位于透明薄膜的上表面和下表面，以同一布儒斯特角将P偏振光分别入射到透明薄膜的上下表面实现双路全透射；所述采集单元包括载物台、两组线阵相机，两组线阵相机分别位于透明薄膜的上表面和下表面，分别接收经透明薄膜下、上表面透射出的光线进行成像。本实用新型实现了透明薄膜的上下表面及内部均匀性检测。 | ||
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主权项
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1.一种基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；所述成像单元用于产生P偏振光进行均匀照明，包括上表面成像单元、下表面成像单元，分别位于透明薄膜的上表面和下表面，以同一布儒斯特角将P偏振光分别入射到透明薄膜的上下表面实现双路全透射；所述采集单元包括载物台、两组线阵相机，两组线阵相机分别位于透明薄膜的上表面和下表面，分别接收经透明薄膜下、上表面透射出的光线进行成像。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G01M11/02 | ||
| G 物理
G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；未列入其他类目的结构部件或设备的测试 G01M11/02 光学性质的测试 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220218 |
法律状态
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授权 | 法律状态信息 |
CN202121962971 20220218 授权 授权
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代理信息
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代理机构名称
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合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 |
代理人姓名
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李璐 |