[发明专利] 超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统 – CN114061452A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111302954.4 |
申请日
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20211104 |
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公开（公告）号
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CN114061452A |
公开（公告）日
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20220218 |
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申请（专利权）人
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中国科学院微电子研究所 | ||
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申请人地址
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100029 北京市朝阳区北土城西路3号
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发明人
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李璟;马会娟;丁敏侠;周成龙;陈进新;折昌美 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明提供的超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统，将照明光源分别移动到对准光栅标记前全反射区域；以时间T为间隔控制信号发生器分别产生与N个衍射级光电信号对应的余弦电压信号；发生器驱动输出的余弦电压信号驱动照明光源产生同频余弦光信号；光电探测器对余弦光信号进行光电转换并由信号调理电路进行偏置调整和信号放大后，模数转换器进行AD转换；将照明光源分别移动到对准光栅标记后全反射区域，并重复上述步骤；数字信号处理模块进行余弦拟合与MCC评价，以两次MCC最小值作为定位位置解算有效性评价依据。解决现有MCC评价方法不适用于单通道数据采集器直接采集多衍射级次光电复合信号方案下的定位位置解算结果评价的弊端。 | ||
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主权项
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1.一种超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S10：将照明光源分别移动到对准光栅标记前全反射区域；步骤S20：以时间T为间隔控制信号发生器分别产生与N个衍射级光电信号对应的余弦电压信号；步骤S30：发生器驱动输出的余弦电压信号驱动所述照明光源产生同频余弦光信号；步骤S40：光电探测器对所述余弦光信号进行光电转换并由信号调理电路进行偏置调整和信号放大后，由模数转换器进行AD转换；步骤S50：将照明光源分别移动到对准光栅标记后全反射区域，并重复步骤S20‑步骤S40的步骤；步骤S60：数字信号处理模块进行余弦拟合与MCC评价，以两次MCC最小值作为定位位置解算有效性评价依据。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G01B11/00 | ||
| G 物理
G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备(G01B9/00组中包括的各式仪器本身入G01B9/00)〔2〕 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220218 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111302954 20220218 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人姓名
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王文思 |