[发明专利] 等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法 – CN114076573A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111324680.9 |
申请日
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20211110 |
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公开（公告）号
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CN114076573A |
公开（公告）日
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20220222 |
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申请（专利权）人
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | ||
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申请人地址
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130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
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发明人
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胡海翔;张学军;徐凯;张志宇;薛栋林 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明适用于自由曲面测量领域，公开了等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法，检测精度校验方法通过两种方法检测大口径自由曲面元件的精度，并且利用尺寸小于被检元件的等效元件代替大口径自由曲面元件进行精度检测，使得检测精度校验方法可以使用能够达到纳米检测精度但是检测口径受限的检测方法(如轮廓测量法)对尺寸规格较大的被检元件进行检测，从而使得大口径自由曲面元件检测能够得到纳米精度校验。 | ||
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主权项
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1.等效元件，所述等效元件被配置为用于代替大口径自由曲面元件进行精度检测，其特征在于，所述等效元件的尺寸小于被检元件的尺寸，且所述等效元件具有依据所述被检元件面形等价性变换的等效面形。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G01B11/24 | ||
| G 物理
G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220222 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111324680 20220222 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 |
代理人姓名
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魏毅宏 |