[发明专利] 磁调谐薄膜体声波谐振器及其制备方法和应用 – CN114070245A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111393245.1 |
申请日
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20211123 |
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公开（公告）号
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CN114070245A |
公开（公告）日
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20220218 |
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申请（专利权）人
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | ||
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申请人地址
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215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
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发明人
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胡瑞;林文魁;曾中明 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明公开了一种磁调谐薄膜体声波谐振器及其制备方法和应用。所述磁调谐薄膜体声波谐振器包括依次叠设的第一电极、压电材料层和第二电极；所述第二电极包括交替层叠的至少一第一材料层和至少一第二材料层，其中至少一第一材料层为磁致伸缩薄膜，所述磁致伸缩薄膜与压电材料层配合形成磁电异质结。本发明实施例提供了一种磁调谐薄膜体声波谐振器，以磁性伸缩复合薄膜作为上电极，利用磁性材料与压电材料的磁电效应，实现在磁场的作用下对FBAR的谐振频率在低频、中频甚至是高频范围内的调节。 | ||
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主权项
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1.一种磁调谐薄膜体声波谐振器，包括依次叠设的第一电极、压电材料层和第二电极；其特征在于：所述第二电极包括交替层叠的至少一第一材料层和至少一第二材料层，其中至少一第一材料层为磁致伸缩薄膜，所述磁致伸缩薄膜与压电材料层配合形成磁电异质结。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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H03H9/02 | ||
| H 电学
H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 H03H9/02 零部件〔3〕 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220218 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111393245 20220218 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 |
代理人姓名
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王锋 |