[发明专利] 用于氮化镓高温退火的保护结构及其应用 – CN114068444A 全文链接一   全文链接二

 
基本信息
申请号
CN202111356887.4
申请日
20211116
公开(公告)号
CN114068444A
公开(公告)日
20220218
申请(专利权)人
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址
215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
发明人
王哲明;张璇;于国浩;张宝顺;邓旭光 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种用于氮化镓高温退火的保护结构及其应用。所述用于氮化镓高温退火的保护结构包括:依次层叠设置在氮化镓材料表面的第一保护层、第二保护层和第三保护层,所述第一保护层、第二保护层和第三保护层的材质包括AlN。本发明实施例提供的一种氮化镓高温退火激活的方法,可以避免在GaN表面生长保护层而产生的应力问题。
主权项
1.一种用于氮化镓高温退火的保护结构,其特征在于包括:依次层叠设置在氮化镓材料表面的第一保护层、第二保护层和第三保护层,所述第一保护层、第二保护层和第三保护层的材质包括AlN。

 

 
IPC信息
IPC主分类号
H01L23/31
H 电学

H01 基本电气元件

H01L 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件

H01L23/31 按配置特点进行区分的〔5〕

 

 
法律状态信息
法律状态公告日
20220218
法律状态
公开 法律状态信息
CN202111356887 20220218 公开 公开

 

 
代理信息
代理机构名称
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256
代理人姓名
王锋