[发明专利] 基于金属纳米颗粒的光刻胶组合物及其应用 – CN114089599A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202010769455.5 |
申请日
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20200803 |
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公开（公告）号
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CN114089599A |
公开（公告）日
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20220225 |
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申请（专利权）人
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中国科学院理化技术研究所 | ||
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申请人地址
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100190 北京市海淀区中关村东路29号
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发明人
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陈金平;叶佳;李嫕;曾毅;于天君 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明公开了一类基于金属纳米颗粒的光刻胶组合物及其应用。该光刻胶组合物包括金属纳米颗粒、光敏剂、防扩散剂以及光刻胶溶剂，其中金属纳米颗粒为银纳米颗粒、铜纳米颗粒、金纳米颗粒。该光刻胶组合物具有良好的成膜性和优异的图案化成像能力，通过紫外、电子束或极紫外曝光，可以获得不同分辨率的光刻图案，形成的图案通过热处理后，具有良好的导电性，可以直接用于微纳器件的加工。 | ||
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主权项
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1.一种光刻胶组合物，其包括金属纳米颗粒、光敏剂、防扩散剂以及光刻胶溶剂，其中金属纳米颗粒为银纳米颗粒、铜纳米颗粒、金纳米颗粒。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G03F7/004 | ||
| G 物理
G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备 G03F7/004 感光材料(G03F7/12，G03F7/14优先)〔5〕 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220225 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202010769455 20220225 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 |
代理人姓名
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谢蓉 |