[发明专利] 一种气压环境维持结构、扫描电镜及气压环境维持方法 – CN114093737A 全文链接一 全文链接二
基本信息 | |||
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申请号
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CN202111567071.6 |
申请日
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20211220 |
公开(公告)号
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CN114093737A |
公开(公告)日
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20220225 |
申请(专利权)人
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北京中科科仪股份有限公司 | ||
申请人地址
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100089 北京市海淀区中关村北二条13号
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发明人
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刘其武 | 专利类型 | 发明专利 |
摘要
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本申请公开了一种气压环境维持结构、扫描电镜及气压环境维持方法,应用于室内有目标气压需求的工作室,包括有:穿通件,穿过连通工作室室内空间的穿通孔,并能够在穿通孔内移动,穿通件的用于操控位移的操控端位于室外、用于承载样品的承载端位于室内;密封部件,设置在穿通件与穿通孔之间,以使工作室室内与室外密封隔离。本申请提供了的气压环境维持结构及方法,工作人员在外部操作即可移动工作室内的样品,同时保证了移动过程中特定气压环境与外界环境始终保持隔离,确保工作室内长期有效维持工作所需的特定气压环境,提高作业效率,简便作业操作。 | ||
主权项
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1.一种气压环境维持结构,应用于室内有目标气压需求的工作室(1),其特征在于,包括有:穿通件,穿过连通所述工作室(1)室内空间的穿通孔(51),并能够在所述穿通孔(51)内移动,所述穿通件的用于操控位移的操控端(21)位于室外、用于承载样品的承载端(22)位于室内;密封部件,设置在所述穿通件与所述穿通孔(51)之间,以使所述工作室(1)室内与室外密封隔离。 |
IPC信息
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IPC主分类号
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H01J37/18 | ||
H 电学
H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯 H01J37/18 真空锁 |
法律状态信息
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法律状态公告日
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20220225 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111567071 20220225 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 |
代理人姓名
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孙健康 |