[发明专利] 一种干涉三维形貌解算方法 – CN114088010A 全文链接一 全文链接二
| 基本信息 | |||
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申请号
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CN202111370114.1 |
申请日
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20211118 |
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公开（公告）号
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CN114088010A |
公开（公告）日
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20220225 |
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申请（专利权）人
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | ||
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申请人地址
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130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
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发明人
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姚东;梁瀚钢 | 专利类型 | 发明专利 |
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摘要
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本发明提供了一种干涉三维形貌解算方法，包括：S1、对干涉仪进行标定，获得干涉仪的顶峰空间偏移量Δl；S2、利用干涉仪获取待测目标上每个像素采集点P(xi，yj)的时序干涉图阵列；时序干涉图阵列为N张具有干涉条纹的干涉图像；S3、获取时序干涉图阵列的零级包络曲线以及潜在零级包络曲线；S4、利用零级包络曲线得到零级包络曲线的零级极值点Z0(xi，yj)；S5、根据零级极值点Z0(xi，yj)求解待测目标的高程位置Zd(xi，yj)。本发明在空域进行，避免了傅里叶变换、卷积等频域大计算量过程，提高了算法的实时性；通过对子包络曲线拟合进行具有较高的拟合精度，可用于低反射率物体表面的三维形貌解算。 | ||
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主权项
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1.一种干涉三维形貌解算方法，其特征在于，包括步骤：S1、利用标准镜对干涉仪进行标定，获得所述干涉仪的顶峰空间偏移量Δl；S2、利用所述干涉仪获取待测目标上每个像素采集点P(xi,yj)的时序干涉图阵列；所述时序干涉图阵列为N张具有干涉条纹的干涉图像；S3、获取所述时序干涉图阵列的零级包络曲线以及潜在零级包络曲线；S4、利用所述零级包络曲线得到所述零级包络曲线的零级极值点Z0(xi,yj)；S5、根据所述零级极值点Z0(xi,yj)求解待测目标的高程位置Zd(xi,yj)：Zd(xi,yj)＝Δl(xi,yj)+Z0(xi,yj) (1)。 | ||
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IPC信息
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IPC主分类号
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G01B11/24 | ||
| G 物理
G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 |
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法律状态信息
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法律状态公告日
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20220225 |
法律状态
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公开 | 法律状态信息 |
CN202111370114 20220225 公开 公开
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代理信息
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代理机构名称
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长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 |
代理人姓名
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郭婷 |